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SORTER SYSTEM傳輸平臺

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更新時間：2019-11-07 14:18:31瀏覽次數(shù)：1240次

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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：北京北京市

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產(chǎn)品簡介

SORTER SYSTEM傳輸平臺可實現(xiàn)400片/小時產(chǎn)率的高性能晶圓搬運系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計生產(chǎn)的高性能大氣機(jī)械手臂和校準(zhǔn)器

詳細(xì)介紹

SORTER SYSTEM傳輸平臺可實現(xiàn)400片/小時產(chǎn)率的高性能晶圓搬運系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計生產(chǎn)的高性能大氣機(jī)械手臂和校準(zhǔn)器；

應(yīng)用設(shè)備實例

半導(dǎo)體生產(chǎn)線

SORTER SYSTEM傳輸平臺

依據(jù)SEMI Standard標(biāo)準(zhǔn)(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
校準(zhǔn)器設(shè)有緩沖器功能, 使晶圓的更換成為可能, 實現(xiàn)了高吞吐量 (400片/h)
搬運機(jī)械手采用路徑規(guī)劃方式, 無行走軸, 支持并列配置盒
搬運機(jī)械手進(jìn)行區(qū)域控制, 能夠順暢而快速地進(jìn)行搬運

配備ID閱讀器, 可以進(jìn)行晶圓的ID讀取 (表里支持為選購件)

規(guī)格