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行業(yè)產(chǎn)品

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SORTER SYSTEM傳輸平臺系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2019-11-07 14:18:32瀏覽次數(shù)：1542次

聯(lián)系我時，請告知來自 智慧城市網(wǎng)

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：經(jīng)理 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

SORTER SYSTEM傳輸平臺系統(tǒng)可實現(xiàn)300片/小時產(chǎn)率的高性能晶圓搬運系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計生產(chǎn)的高性能大氣機械手臂和校準(zhǔn)器

詳細(xì)介紹

SORTER SYSTEM傳輸平臺系統(tǒng)可實現(xiàn)300片/小時產(chǎn)率的高性能晶圓搬運系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計生產(chǎn)的高性能大氣機械手臂和校準(zhǔn)器

SORTER SYSTEM傳輸平臺系統(tǒng)

  • 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600）
  • Aligner具有Buffer功能，能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的更換動作，提高了設(shè)備的Throughput
  • 配備ID Reader，能夠讀取晶圓的ID信息（晶圓正反面對應(yīng)為選配）
  • 上述標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格之外，以下規(guī)格的產(chǎn)品也可以定制
        1. 4 FOUP對向擺放（Throughput為400片/h）
        2. 4 FOUP的inline類型（Throughput為600片/h）

    應(yīng)用設(shè)備實例

    半導(dǎo)體生產(chǎn)線

    規(guī)格

    對應(yīng)片盒300 mm FOUP（25片）
    SEMI E47.1，E62標(biāo)準(zhǔn)品
    對應(yīng)晶圓300 mm 硅片（厚度775 µm）
    Throughput*300片/h
    潔凈度ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（FFU使用）
    外形尺寸*W1250xD2500xH1900
    重量*大約 800 kg
    廠務(wù)電源：AC200V±10% 2kVA
    干燥空氣：0.5MPa±10%
    真空：優(yōu)于-53 kPa

 


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