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SAL3481晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準器

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

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更新時間:2019-11-07 14:18:32瀏覽次數(shù):1268次

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經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:21條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:經(jīng)理 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

SAL3481晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準器適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓位置的校準??捎糜?~8寸晶圓的搬運,體積小,性價比高。

詳細介紹

SAL3481晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準器適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓位置的校準。可用于4~8寸晶圓的搬運,體積小,性價比高。

  • 高速,高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊,缺口
  • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
  • 相對舊型號SAL46C6,SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸

SAL3481晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準器

應(yīng)用設(shè)備實例

PE-CVD設(shè)備;AOI設(shè)備

規(guī)格
被搬運物SEMI規(guī)格 100~200 mm硅片
位置確定所需時間定位晶圓中心:3 sec
位置精度晶圓中心:±0.1 mm以內(nèi)
晶圓缺邊(缺口):±0.1度以內(nèi)
傳感器可視光半導(dǎo)體激光傳感器
潔凈度ISO標準 Class 2(驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下)
動力3軸使用2相步進電機,電機控制器和脈沖發(fā)生器安裝在本體內(nèi)部
廠務(wù)電源:DC24V±10% 3A
正壓:60 SLM, 0.01-0.3 MPa

 

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        • 高速,高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊,缺口
        • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
        • 相對舊型號SAL46C6,SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
      • 高速,高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊,缺口
      • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
      • 相對舊型號SAL46C6,SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
    • 高速,高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊,缺口
    • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
    • 相對舊型號SAL46C6,SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
  • 高速,高精度地定位半導(dǎo)體硅片的中心以及缺邊,缺口
  • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
  • 相對舊型號SAL46C6,SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸


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