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SAL3261GR晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器

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更新時間：2019-11-07 14:18:32瀏覽次數(shù)：609次

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產(chǎn)品簡介

SAL3261GR晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓位置的校準(zhǔn)。可用于LED行業(yè)藍(lán)寶石晶圓的搬運(yùn)。

詳細(xì)介紹

SAL3261GR晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓位置的校準(zhǔn)?？捎糜贚ED行業(yè)藍(lán)寶石晶圓的搬運(yùn)。

高速，高精度地定位小尺寸晶圓（透明，半透明，硅片）的中心以及缺邊
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
相對舊型號SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸
應(yīng)用設(shè)備實(shí)例
MOCVD設(shè)備；AOI設(shè)備

SAL3261GR晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器

規(guī)格

被搬運(yùn)物	*缺邊
被搬運(yùn)物	SEMI規(guī)格 2, 3寸 100～150 mm硅片以及透明晶圓
位置確定所需時間	定位晶圓中心：3 sec
位置精度	晶圓中心：±0.2mm以內(nèi) 晶圓缺邊：±0.2度以內(nèi)
傳感器	可視光半導(dǎo)體激光傳感器
晶圓尺寸切換	命令控制方式或者通信方式
潔凈度	ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下)
動力	3軸使用2相步進(jìn)電機(jī), 電機(jī)控制器和脈沖發(fā)生器安裝在本體內(nèi)部
廠務(wù)	電源：DC24V±10% 3A 真空：優(yōu)于-53 kPa

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，智慧城市網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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