神視SUNX晶圓定位傳感器簡介
中心測量距離45mm
檢測物體3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓（注2）
可對應(yīng)檢測面有受光方向反射面的端面形狀的檢測面（注3）
檢測角度12.5±5°（注4）
晶圓間距間距3mm以上時，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測（注5）
適用晶圓盒SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

詳細(xì)介紹

神視SUNX晶圓定位傳感器簡介

特點

安全性的LED式

以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險。

M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

安全性的LED式

亦可檢測玻璃晶圓

M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。

亦可檢測玻璃晶圓

可檢測涂氮晶圓

氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。

而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測。

0.5ms的高速反應(yīng)

實現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。

基于2段受光元件的高精度位置檢測

利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

基于2段受光元件的高精度位置檢測

可從四個方向引出電纜

二八八零六二六零八四

傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個方向引出電纜?？筛鶕?jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。

可從四個方向引出電纜

內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型

尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。

內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型

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