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防靜電無(wú)塵服的靜電檢測(cè)知識(shí)

閱讀：7403發(fā)布時(shí)間：2010-2-3

防靜電無(wú)塵服的靜電檢測(cè)知識(shí)

經(jīng)過(guò)無(wú)塵清洗后的工衣將會(huì)直接使用于各種無(wú)塵級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間，在生產(chǎn)高精密產(chǎn)品的車(chē)間，任何一個(gè)環(huán)節(jié)的異常就可能對(duì)zui終產(chǎn)品的質(zhì)量造成損害。如工衣上的塵粒超過(guò)一定控制范圍，就會(huì)因?yàn)榇┲叩膩?lái)回走動(dòng)而跌落到無(wú)塵環(huán)境中，這些粒子就有機(jī)會(huì)飄落到zui終產(chǎn)品上，潔凈服作為無(wú)塵環(huán)境中的一個(gè)重要環(huán)節(jié)，對(duì)其進(jìn)行監(jiān)控就顯得非常重要。

潔凈服測(cè)試主要包括以下方面的測(cè)試

▲ ESD測(cè)試

ESD性能是評(píng)估工衣質(zhì)量好壞的重要指標(biāo)。一般ESD測(cè)試有四部分：磨擦電壓測(cè)試、靜電壓測(cè)試、電阻測(cè)試、衰減時(shí)間測(cè)試。

磨擦電壓測(cè)試

該測(cè)試主要是驗(yàn)證布料本身在經(jīng)過(guò)磨擦積累一些電壓后，能否在簡(jiǎn)短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到一個(gè)規(guī)定的穩(wěn)定值，這主要是檢驗(yàn)導(dǎo)電絲的質(zhì)量。

*測(cè)試方法，在的ESD測(cè)試臺(tái)（經(jīng)過(guò)接地）上，測(cè)試員用手使用一定的力度和速度對(duì)布料表面磨擦若干次（通常5-10次），然后用的電壓測(cè)試儀的探頭相隔5cm左右對(duì)準(zhǔn)被摩擦部分，讀取第5秒后的電壓值。

*測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，半導(dǎo)體行業(yè)的衣服ESD的要求一般要求小于100V。有些行業(yè)有更嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)，如晶圓、磁頭行業(yè)，摩擦電壓一般小于20V。

靜電壓測(cè)試

該測(cè)試是驗(yàn)證布料本身在環(huán)境中積累了一定的靜電后能通過(guò)導(dǎo)電絲導(dǎo)走多少而還停留多少。

*測(cè)試方法，將被測(cè)試衣服置于測(cè)試臺(tái)上，用ESD測(cè)試儀的探頭相隔約5CM左右讀取電壓值。

測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)客戶(hù)工衣的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)而定，zui嚴(yán)格的可以要求到小于5V。一般在50V左右的較常見(jiàn)。

表面電阻測(cè)試

該測(cè)試可以驗(yàn)證導(dǎo)電絲的導(dǎo)電功效和布料與布料之前的縫合工藝是否符合要求，如導(dǎo)電絲之間的連接等。

*測(cè)試方法，將被測(cè)試工衣置于測(cè)試臺(tái)上，使用電阻測(cè)試儀對(duì)其進(jìn)行測(cè)試，通常需要對(duì)工衣的不同點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試，如同一塊布料之間、不同布料塊之間、袖與袖之間、褲對(duì)褲之間等。

*測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)，大多數(shù)企業(yè)都將工衣的電阻控制在10⁵—10⁹歐姆，也有嚴(yán)格的定在10⁵—10⁷。

▲ 衰減時(shí)間

該測(cè)試主要是驗(yàn)證布料的導(dǎo)電絲在經(jīng)過(guò)加高壓后能在多長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)將高壓耗散到一定的范圍。

大多數(shù)的布料衰減時(shí)間都能達(dá)到0.5秒以下，具體的要求根據(jù)不同的客戶(hù)而定。

▲ 潔凈度測(cè)試

滾桶測(cè)試（HELMKEDRUMTEST）

該測(cè)試是由美國(guó)人HELMKE發(fā)明的，所以也叫HELMKEDRUMTEST。該標(biāo)準(zhǔn)被收錄在IEST-CC-RP003.3（美國(guó)環(huán)境與科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)之工衣系統(tǒng)）。

*測(cè)試原理，該測(cè)試是模擬人員穿上無(wú)塵衣后工作時(shí)不同狀態(tài)（如走動(dòng)、身體的不停轉(zhuǎn)動(dòng)等），看其跌落多少塵粒。

滾筒測(cè)試

*測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)IEST-RP—CC003.3標(biāo)準(zhǔn)，不同級(jí)別的無(wú)塵衣標(biāo)準(zhǔn)也不同，請(qǐng)參考附錄圖表。

LPC測(cè)試（液態(tài)塵粒測(cè)試）

該測(cè)試是對(duì)清洗后的工衣進(jìn)行塵粒測(cè)試的一個(gè)zui準(zhǔn)確的測(cè)試，一般具有性。

*測(cè)試方法，該測(cè)試是將工衣的布料（一般取樣一小塊，計(jì)算出面積）放入DI水中，然后經(jīng)過(guò)超聲波振蕩一定時(shí)間，測(cè)試出DI水中的各個(gè)粒徑的粒子含量，zui后同原樣DI水進(jìn)行對(duì)比，以得出布料的測(cè)試結(jié)果。

LPC測(cè)試

*測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，磁頭行業(yè)，一般要求對(duì)于0.5um的粒子來(lái)說(shuō)，不能超過(guò)3000個(gè)/平方厘米。有些行業(yè)如晶圓，要求會(huì)更嚴(yán)格。

▲ 過(guò)濾性測(cè)試

過(guò)濾性測(cè)試是測(cè)試布料過(guò)濾塵粒的能力。

IEST-RP-CC003.3對(duì)過(guò)濾效率的測(cè)試做了規(guī)定，方法是在一定壓力下，通過(guò)潔凈服面料抽取空氣，用空氣微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試加載布料前后的塵粒數(shù)，其微粒數(shù)對(duì)比的結(jié)果顯示了面料阻攔粒子的能力。

布粒的過(guò)濾性=1－（加布前的塵粒度平均值/加布后的塵粒度平均值）×100%

*測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，一般磁頭及半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)工衣的過(guò)濾性要求較高，為65%--85%。

▲其它微觀(guān)測(cè)試

在無(wú)塵清洗行業(yè)，除了進(jìn)行潔凈度測(cè)試外，根據(jù)客戶(hù)的要求，還需要進(jìn)行如離子測(cè)試（IC）、傅立葉紅外線(xiàn)光譜測(cè)試（FTIR）、非揮發(fā)性殘留物測(cè)試（NVR）等等微觀(guān)方面的測(cè)試。

▲導(dǎo)電纖維顯微鏡檢查

由于工衣在使用過(guò)程中布料會(huì)和工作臺(tái)面磨擦以及遇到不同的力度拉伸等情況，所以有很大機(jī)會(huì)破壞導(dǎo)電絲，如斷裂、破損等。這樣就會(huì)導(dǎo)致衣服的ESD性能變差。

*測(cè)試方法，使用放大倍數(shù)zui少20倍或以上的電子顯微鏡，觀(guān)察其布料的導(dǎo)電絲是否有斷裂、破損等情況。

布料顯微鏡檢查

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防靜電無(wú)塵服的靜電檢測(cè)知識(shí)

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