在當今高速發(fā)展的工業(yè)自動化進程中，現代測試技術向著數字化、信息化方向發(fā)展已成為行業(yè)發(fā)展的必然趨勢。可以說，一個測試系統(tǒng)的最前端是傳感器，而傳感器也是整個測試系統(tǒng)的靈魂，數字化、多功能與智能化是現代傳感器發(fā)展的重要特征。近幾年來快速發(fā)展的IC技術和計算機技術，為傳感器的發(fā)展提供了良好與可靠的科學技術基礎。而世界各國對傳感器產業(yè)的重視，也促使傳感器的發(fā)展日新月益。
 

　　在眾多傳感器類別中，振動傳感器是其中備受關注的一種。
 

　　簡單來說，振動傳感器是可以用于檢測加速度或者沖擊力的一種傳感器 ，振動傳感器通常使用的壓電器件，會在加上應力時馬上會產生電荷，但也有采用別的材料和方法以進行檢測的方法。
 

　　振動傳感器的作用：振動傳感器在測試技術中是關鍵部件之一，它的作用主要是將機械量接收下來，并轉換為與之成比例的電量。由于它也是一種機電轉換裝置。所以我們有時也稱它為換能器、拾振器等。振動傳感器可用于長期監(jiān)測機械里的位移和振動大小、轉子與機殼的熱膨脹程度，也多用于生產線的在線自動檢測和自動控制、科學研究中的多種微小距離和微小運動的測量等?？梢哉f，振動傳感器廣泛應用于化工、醫(yī)學、汽車、能源、冶金，機器制造，軍工，科研教學等諸多領域。
 

　　振動傳感器的檢測(工作)流程及原理：
 

　　振動傳感器并不是直接將原始要測的機械量轉變?yōu)殡娏?，而是將原始要測的機械量做為振動傳感器的輸入量，然后由機械接收部分加以接收，形成另一個適合于變換的機械量，最后由機電變換部分再將變換為電量。因此一個傳感器的工作性能是由機械接收部分和機電變換部分的工作性能來決定的。
 

　　下面讓我們先了解一下工程振動測試領域的幾種常用測試方法。
 

　　工程振動測試領域中，測試手段與方法多種多樣，但是按各種參數的測量方法及測量過程的物理性質來分，可以分成三類。
 

　　1. 機械式測試
 

　　將工程振動的參量轉換成機械信號，再經機械系統(tǒng)放大后，進行測量、記錄，常用的儀器有杠桿式測振儀和蓋格爾測振儀，它能測量的頻率較低，精度也較差。但在現場測試時較為簡單方便。
 

　　2. 電測
 

　　將工程振動的參量轉換成電信號，經電子線路放大后顯示和記錄。電測法的要點在于先將機械振動量轉換為電量(電動勢、電荷、及其它電量)，然后再對電量進行測量，從而得到所要測量的機械量。這是目前應用得最廣泛的測量方法。
 

　　3. 光學式測試
 

　　將工程振動的參量轉換為光學信號，經光學系統(tǒng)放大后顯示和記錄。如讀數顯微鏡和激光測振儀等。       上述的三種測量方法雖然在物理性質上各不相同，但是其組成的測量系統(tǒng)基本相同。
 

　　這三種都包含有拾振、測量放大線路和信號分析及顯示、記錄三個環(huán)節(jié)，下面讓我們看看對三個環(huán)節(jié)的簡單介紹：
 

　?、偈罢癍h(huán)節(jié)。把被測的機械振動量轉換為機械的、光學的或電的信號，完成這項轉換工作的器件叫傳感器。
 

　　②測量線路。測量線路的種類甚多，它們都是針對各種傳感器的變換原理而設計的。比如，專配壓電式傳感器的測量線路有電壓放大器、電荷放大器等；此外，還有積分線路、微分線路、濾波線路、歸一化裝置等等。
 

　?、坌盘柗治黾帮@示、記錄環(huán)節(jié)。從測量線路輸出的電壓信號，可按測量的要求輸入給信號分析儀或輸送給顯示儀器(如電子電壓表、示波器、相位計等)、記錄設備(如光線示波器、磁帶記錄儀、X—Y 記錄儀等)等。也可在必要時記錄在磁帶上，然后再輸入到信號分析儀進行各種分析處理，從而得到最終結果。
 

　　在對工程振動測試領域的幾種常用測試方法進行了初步的了解之后，讓我們分析一下振動傳感器的接受原理。
 

　　1、相對式機械接收原理
 

　　由于機械運動是物質運動的最簡單的形式，因此人們最先想到的是用機械方法測量振動，從而制造出了機械式測振儀(如蓋格爾測振儀等)。傳感器的機械接收原理就是建立在此基礎上的。相對式測振儀的工作接收原理是在測量時，把儀器固定在不動的支架上，使觸桿與被測物體的振動方向一致，并借彈簧的彈性力與被測物體表面相接觸，當物體振動時，觸桿就跟隨它一起運動，并推動記錄筆桿在移動的紙帶上描繪出振動物體的位移隨時間的變化曲線，根據這個記錄曲線可以計算出位移的大小及頻率等參數。
 

　　由此可知，相對式機械接收部分所測得的結果是被測物體相對于參考體的相對振動，只有當參考體絕對不動時，才能測得被測物體的絕對振動。這樣，就發(fā)生一個問題，當需要測的是絕對振動，但又找不到不動的參考點時，這類儀器就無用武之地。例如：在行駛的內燃機車上測試內燃機車的振動，在地震時測量地面及樓房的振動……，都不存在一個不動的參考點。在這種情況下，我們必須用另一種測量方式的測振儀進行測量，即利用慣性式測振儀。
 

　　2、慣性式機械接收原理
 

　　慣性式機械測振儀測振時，是將測振儀直接固定在被測振動物體的測點上，當傳感器外殼隨被測振動物體運動時，由彈性支承的慣性質量塊將與外殼發(fā)生相對運動，則裝在質量塊上的記錄筆就可記錄下質量元件與外殼的相對振動位移幅值，然后利用慣性質量塊與外殼的相對振動位移的關系式，即可求出被測物體的絕對振動位移波形。
 

　　機電變換
 

　　一般來說，振動傳感器在機械接收原理方面，只有相對式、慣性式兩種，但在機電變換方面，由于變換方法和性質不同，其種類繁多，應用范圍也極其廣泛。
 

　　在現代振動測量中所用的傳感器，已不是傳統(tǒng)概念上獨立的機械測量裝置，它僅是整個測量系統(tǒng)中的一個環(huán)節(jié)，且與后續(xù)的電子線路緊密相關。
 

　　由于傳感器內部機電變換原理的不同，輸出的電量也各不相同。有的是將機械量的變化變換為電動勢、電荷的變化，有的是將機械振動量的變化變換為電阻、電感等電參量的變化。一般說來，這些電量并不能直接被后續(xù)的顯示、記錄、分析儀器所接受。因此針對不同機電變換原理的傳感器，必須附以專配的測量線路。測量線路的作用是將傳感器的輸出電量最后變?yōu)楹罄m(xù)顯示、分析儀器所能接受的一般電壓信號。因此，振動傳感器按其功能可有以下幾種分類方法：
 

　　按機械接收原理可以分為相對式及慣性式兩種。
 

　　而按機電變換原理分一共可分為以下七種：電動式、電渦流式、電感式、電容式、壓電式、電阻式、光電式；
 

　　最后，按所測機械量可分為位移傳感器、力傳感器、應變傳感器、速度傳感器、加速度傳感器、扭振傳感器及扭矩傳感器七種。
 

　　其它分類方法及簡介：
 

　?、烹娙菔?br /> 

　　電容式傳感器一般分為兩種類型。即可變間隙式和可變公共面積式?？勺冮g隙式可以測量直線振動的位移。可變面積式可以測量扭轉振動的角位移。
 

　?、茟T性式
 

　　慣性式電動傳感器由可動部分、固定部分以及支承彈簧部分所組成。為了使傳感器工作在位移傳感器狀態(tài)，其可動部分的質量應該足夠的大，而支承彈簧的剛度應該足夠的小，也就是讓傳感器具有足夠低的固有頻率。
 

　　根據電磁感應定律，感應電動勢為：u=Blx&r式中B為磁通密度，l為線圈在磁場內的有效長度， r x&為線圈在磁場中的相對速度。
 

　　從傳感器的結構上來說，慣性式電動傳感器應該是一個位移傳感器。但是由于其輸出的電信號是由電磁感應產生，根據電磁感應電律，當線圈在磁場中作相對運動時，所感生的電動勢與線圈切割磁力線的速度成正比。因此就傳感器的輸出信號來說，感應電動勢是同被測振動速度成正比的，所以它實際上是一個速度傳感器。
 

　?、请姕u流式
 

　　電渦流傳感器是一種相對式非接觸式傳感器，它是通過傳感器端部與被測物體之間的距離變化來測量物體的振動位移或幅值的。電渦流傳感器具有頻率范圍寬(0～10 kHZ)，線性工作范圍大、靈敏度高以及非接觸式測量等優(yōu)點，主要應用于靜位移的測量、振動位移的測量、旋轉機械中監(jiān)測轉軸的振動測量。
 

　?、葔弘娛?br /> 

　　壓電式加速度傳感器的機械接收部分是慣性式加速度機械接收原理，機電部分利用的是壓電晶體的正壓電效應。其原理是某些晶體(如人工極化陶瓷、壓電石英晶體等，不同的壓電材料具有不同的壓電系數，一般都可以在壓電材料性能表中查到。)在一定方向的外力作用下或承受變形時，它的晶體面或極化面上將有電荷產生，這種從機械能(力，變形)到電能(電荷，電場)的變換稱為正壓電效應。而從電能(電場，電壓)到機械能(變形，力)的變換稱為逆壓電效應。
 

　　因此利用晶體的壓電效應，可以制成測力傳感器，在振動測量中，由于壓電晶體所受的力是慣性質量塊的牽連慣性力，所產生的電荷數與加速度大小成正比，所以壓電式傳感器是加速度傳感器。
 

　　⑸壓電式力
 

　　在振動試驗中，除了測量振動，還經常需要測量對試件施加的動態(tài)激振力。壓電式力傳感器具有頻率范圍寬、動態(tài)范圍大、體積小和重量輕等優(yōu)點，因而獲得廣泛應用。壓電式力傳感器的工作原理是利用壓電晶體的壓電效應，即壓電式力傳感器的輸出電荷信號與外力成正比。
 

　?、孰娮钁兪?br /> 

　　電阻式應變式傳感器是將被測的機械振動量轉換成傳感元件電阻的變化量。實現這種機電轉換的傳感元件有多種形式，其中最常見的是電阻應變式的傳感器。
 

　　電阻應變片的工作原理為：應變片粘貼在某試件上時，試件受力變形，應變片原長變化，從而應變片阻值變化，實驗證明，在試件的彈性變化范圍內，應變片電阻的相對變化和其長度的相對變化成正比。
 

　　⑺激光
 

　　激光傳感器是利用激光技術進行測量的傳感器。一般由激光器、激光檢測器和測量電路等部件組成。激光傳感器是新型測量儀表，優(yōu)勢在于能夠實現無接觸遠距離測量，精度高，量程大，速度快，抗光、電干擾能力強，適用于工業(yè)和實驗室中的非接觸測量應用。
 

　?、套杩诡^
 

　　阻抗頭集壓電式力傳感器和壓電式加速度傳感器于一體，是一種綜合性的傳感器，其作用是在力傳遞點測量激振力的同時測量該點的運動響應。因此阻抗頭一般由兩部分組成，一部分是力傳感器，另一部分是加速度傳感器。阻抗頭集壓電式力傳感器的優(yōu)點是，保證測量點的響應就是激振點的響應。使用時將小頭(測力端)連向結構，大頭(測量加速度)與激振器的施力桿相連。從“力信號輸出端”測量激振力的信號，從“加速度信號輸出端”測量加速度的響應信號。
 

　　需注意的是，阻抗頭一般只能承受輕載荷，因此只可以用于輕型的結構、機械部件以及材料試樣的測量。無論是力傳感器還是阻抗頭，其信號轉換元件都是壓電晶體，所以它的測量線路都應該是電荷放大器或電壓放大器。
 

　　⑼相對式
 

　　相對式電動傳感器從機械接收原理來說，其實是一個位移傳感器，但由于其在機電變換原理中應用的是電磁感應定律，導致產生的電動勢同被測振動速度成正比，所以其實際上是一個速度傳感器。
 

　?、坞姼惺?br /> 

　　電感式根據的是傳感器相對式機械接收原理，電感式傳感器能夠把被測的機械振動參數的變化轉換成為電參量信號的變化。電感傳感器有二種形式，一種是可變間隙，另一種是可變導磁面積。