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德國Heidelberg Instruments刻蝕機
摘要：德國HeidelbergInstruments刻蝕機DWL2000GS/DWL4000GS激光光刻系統(tǒng)是快速靈活的高分辨率圖案生成器。它們針對工業(yè)級灰度光刻進行了優(yōu)化，專為集成電路、MEMS、微光學和微流¥100000
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